신소재 센서공학특론 - 고려대학교 | KOCW 공개 강의

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신소재 센서공학특론

고려대학교
주병권

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주제분류

공학 >전기ㆍ전자 >전기전자공학
등록일자

2009.10.01

조회수

5,708

아래와 같은 소자의 제작 공정과 소자 특성에 대해서 이해한다.;

1. CNT-Field emission을 이용한 소자 제작과 동작원리 이해

2. MEMS 기술을 이용한 센서 제작과 나노 재료를 이용한 소자 개발

3. MEMS/NEMS 공정 기술 개발

차시별 강의

1.		MEMS의 소개	MEMS 기술의 소개
2.		MEMS의 개념, 이론	MEMS 기술의 소개
3.		MEMS 공정	MEMS 기술의 소개

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