ULSI공정기술

강의상세

초고집적회로에서 필수적인 반도체소자를 이해하기 위해 실리콘단결정성장, 웨이퍼가공, 산화막과질화막성장, 이온주입, 화학증기압증착의 금속접합공정, SOI 소자와 결절결함과 제어를 다루고 디스플레이산업의 첨단분야인 유기발광소자와 유기트랜지스터를 소개한다.

0.18um CMOS 공정(1)

1.	0.18um CMOS 공정(1)	Twin Well, STI, LDD, metallixa\zation etc.
2.	0.18um CMOS 공정(2)	Twin Well, STI, LDD, metallixa\zation etc.
3.	산화공정	열적 산화막 성장과 Furnace
4.	CVD증착 공정(1)	박막 및 화학기상 증착 & SOG 증착기법
5.	CVD증착 공정(2)	박막 및 화학기상 증착 & SOG 증착기법
6.	CVD증착 공정(3)	박막 및 화학기상 증착 & SOG 증착기법
7.	금속증착 공정(1)	금증착장비 및 damascene 공정기법
8.	금속증착 공정(2)	금증착장비 및 damascene 공정기법
9.	포토리소그라피 공정(1)	네가 포토, 포지 포토 공정, 스핀 코팅, bake, Develop, Deep UV PR
10.	포토리소그라피 공정(2)	네가 포토, 포지 포토 공정, 스핀 코팅, bake, Develop, Deep UV PR
11.	포토리소그라피 정열 및 노광(1)	광원소개, 포토 공정 장비
12.	포토리소그라피 정열 및 노광(2)	광원소개, 포토 공정 장비
13.	포토리소그라피 정열 및 노광(3)	광원소개, 포토 공정 장비